Cobaltdisilicid ist eine chemische Verbindung des Cobalts aus der Gruppe der Silicide.
Gewinnung und Darstellung Cobaltdisilicid kann durch Reaktion von Cobalt mit Silicium gewonnen werden.
Eigenschaften Cobaltdisilicid ist ein grauer, geruchloser Feststoff, der praktisch unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine kubische Kristallstruktur vom Fluorittyp mit der .
Verwendung Cobaltdisilicid wird vielfältig in der chemischen Forschung eingesetzt.
In der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) in 250-nm- bis 90-nm-Technik verwendet. Es löste zunächst das gängige Titandisilicid ab, wurde dann ab dem 90-nm-Technologieknoten aufgrund von physikalischen Nachteilen zunehmend durch Dinickelsilicid ersetzt (siehe Salicide-Prozess).
Verwandte Verbindungen Neben Cobaltdisilicid sind mit dem orthorhombischen Co2Si, dem kubischen CoSi und dem kubischen CoSi3 mindestens drei weitere Cobaltsilicide bekannt. Zwei weitere, Co5Si3 und Co3Si, sind noch nicht genau untersucht.
Einzelnachweise
Kategorie:Cobaltverbindung Kategorie:Silicid Kategorie:Werkstoff der Halbleiterelektronik